»ï¼ºÀüÀÚ´Â 18ÀÏ 10³ª³ë(nm· ³ª³ë¹ÌÅÍ, 1§¬´Â 10¾ïºÐÀÇ 1£í) 2¼¼´ë °øÁ¤À» ±â¹ÝÀ¸·Î ÇÑ '8³ª³ë ÆÄ¿îµå¸®(¹ÝµµÃ¼ ¼öŹ»ý»ê) °øÁ¤(8 LPP)'ÀÇ °³¹ßÀ» ¿Ï·áÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù.
ÀÌ´Â ÇöÀç »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ¾ç»ê¿¡ Àû¿ëÇÏ°í ÀÖ´Â 10³ª³ë 2¼¼´ë °øÁ¤º¸´Ù ȸ·Î¼±ÆøÀ» ´õ Ãà¼ÒÇÑ Ã·´Ü °øÁ¤ÀÌ´Ù.
°øÁ¤ °³¹ß¿¡ µû¶ó ÇâÈÄ ¸î °³¿ù µÚ 8³ª³ë °øÁ¤µµ ¾ç»ê¿¡ µé¾î°¥ °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.
À̹ø¿¡ °³¹ßÇÑ 8³ª³ë °øÁ¤Àº »ï¼ºÀüÀÚÀÇ Ã·´Ü ÆÄ¿îµå¸® ·Îµå¸Ê »ó EUV(±ØÀڿܼ±)À» »ç¿ëÇÑ ³ë±¤(Æ÷Åä) °øÁ¤ÀÌ µµÀ﵃ 7³ª³ëÀÇ Á÷Àü °øÁ¤ÀÌ´Ù.
8³ª³ë °øÁ¤Àº 10³ª³ë 2¼¼´ë °øÁ¤°ú °ßÁà Àü·Â È¿À²Àº 10% Çâ»óµÇ°í, ¸éÀûÀº 10% Ãà¼ÒµÅ ¸ð¹ÙÀÏ, ³×Æ®¿öÅ©, ¼¹ö, °¡»óÈÆó ä±¼ µî¿¡ ÇÊ¿äÇÑ °í¼º´É ÇÁ·Î¼¼¼¿¡ ÀûÇÕÇÏ´Ù°í »ï¼ºÀüÀÚ´Â ¼³¸íÇß´Ù.
ÀÌ¿¡ µû¶ó ±Û·Î¹ú ÆÄ¿îµå¸® ½ÃÀåÀÇ Ã·´Ü ¹Ì¼¼°øÁ¤ °æÀïÀº ÇÑÃþ ´õ Ä¡¿ÇØÁö°Ô µÆ´Ù. ÆÄ¿îµå¸® ½ÃÀå 1À§ÀÎ ´ë¸¸ TSMC´Â ÇöÀç 10³ª³ë °øÁ¤À¸·Î ¹ÝµµÃ¼¸¦ ¾ç»ê ÁßÀε¥ Â÷¼¼´ë °øÁ¤À¸·Î 7³ª³ë¸¦ µµÀÔÇÏ°Ú´Ù°í ¹ßÇ¥ÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù.
ÆÄ¿îµå¸® ½ÃÀå 4À§ÀÎ »ï¼ºÀüÀÚ´Â À̹ø¿¡ 8³ª³ë °øÁ¤À» °³¹ßÇÑ µ¥ À̾î 7³ª³ë °øÁ¤µµ °³¹ßÇÒ °èȹÀÌ´Ù.
ÀÌ¿¡ ¾Õ¼ »ï¼ºÀüÀÚ´Â 2016³â 10¿ù ¾÷°è ÃÖÃÊ·Î 10³ª³ë Á¦Ç° ¾ç»êÀ» ½ÃÀÛÇß´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â ±×°£ 10³ª³ë ¾ç»êÀ» ÅëÇØ ÃàÀûÇÑ °øÁ¤ ³ëÇϿ츦 ¹ÙÅÁÀ¸·Î 8³ª³ë °øÁ¤ ¼öÀ²µµ ºü¸£°Ô ¾ÈÁ¤ÈÇÒ °èȹÀÌ´Ù.
ÀÌ»óÇö »ï¼ºÀüÀÚ ÆÄ¿îµå¸® ¸¶ÄÉÆÃÆÀ »ó¹«´Â "»ý»ê¼º°ú °æÀï·ÂÀ» µ¿½Ã¿¡ °®Ãá °øÁ¤À» ¹ÝµµÃ¼ °í°´¿¡°Ô Á¦°øÇϱâ À§ÇØ °øÁ¤ Æ÷Æ®Æú¸®¿À¸¦ ºü¸£°Ô È®´ëÇØ ³ª°¥ °Í"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â 14³ª³ë¿Í 10³ª³ë °øÁ¤¿¡ À̾î À̹ø 8³ª³ë °øÁ¤ °³¹ß ¿ª½Ã Ä÷ÄÄ°ú Çù·ÂÀ» Áö¼ÓÇÏ°í ÀÖ´Ù.
RK ÃáµÎ·ç Ä÷ÄÄ ½Ã´Ï¾î VP´Â "»ï¼ºÀÇ 8³ª³ë(LPP) °øÁ¤Àº ÀÌ¹Ì °ËÁõµÈ 10³ª³ë °øÁ¤À» ±â¹ÝÀ¸·Î ÇØ ºü¸¥ Á¦Ç° ·¥ÇÁ¾÷(»ý»ê·® Áõ´ë)ÀÌ °¡´ÉÇÏ¸ç ´õ ¶Ù¾î³ ¼º´É°ú Å©±â °æÀï·ÂÀ» Á¦°øÇÒ °Í"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è¿¡¼´Â »ï¼ºÀüÀÚ°¡ Ä÷ÄÄÀÇ ÃֽŠAP(¾ÖÇø®ÄÉÀÌ¼Ç ÇÁ·Î¼¼¼)ÀÎ '½º³Àµå·¡°ï 835'¸¦ Çù¾÷ÇØ »ý»êÇÑ µ¥ À̾î Â÷¼¼´ë AP °³¹ß¿¡¼µµ Çù¾÷ °ü°è°¡ À̾îÁú °ÍÀ¸·Î Ç®ÀÌÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÇÑÆí »ï¼ºÀüÀÚ´Â ÀÌ´Þ 18ÀÏ µ¶ÀÏ ¹ÀÇî¿¡¼ '»ï¼º ÆÄ¿îµå¸® Æ÷·³'À» ¿°í ±Û·Î¹ú °í°´°ú ÆÄÆ®³Ê»ç¸¦ ´ë»óÀ¸·Î 8³ª³ë °øÁ¤ °³¹ß ÇöȲÀ» Æ÷ÇÔÇÑ »ï¼ºÀüÀÚÀÇ Ã·´Ü ÆÄ¿îµå¸® °øÁ¤ ·Îµå¸ÊÀ» ¹ßÇ¥ÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
À±¼¼ÈÆ ±âÀÚ press@jeonpa.co.kr
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ÀüÆĽŹ®, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>