ÀϺ» Á¤ºÎ°¡ Áö³´Þ Çѱ¹¿¡ ´ëÇÑ 3°³ ÇٽɼÒÀç ¼öÃâ±ÔÁ¦¸¦ ¹ßÇ¥ÇÑ ÀÌÈÄ Ã³À½À¸·Î ÀϺ»»ê Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®°¡ 21ÀÏ ±¹³»·Î ¹ÝÀÔµÈ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.
22ÀÏ º¹¼öÀÇ ¾÷°è °ü°èÀÚ´Â "¾îÁ¦ ÀϺ»»ê Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®°¡ Ç×°øÆíÀ» ÅëÇØ ¹ÝÀÔµÈ °ÍÀ¸·Î ¾È´Ù"¸é¼ "ÀÌ´Â »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ÁÖ¹®À» ¹ÞÀº ÇÑ ÀϺ» ¾÷üÀÇ ¼öÃâ ½Åû¿¡ ´ëÇØ ÀϺ» Á¤ºÎ°¡ ÀÌ´ÞÃÊ Ã³À½À¸·Î Çã°¡ °áÁ¤À» ³»¸° ¹°·®"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
ÀϺ» Á¤ºÎ°¡ Áö³´Þ 4ÀÏ ¼öÃâ±ÔÁ¦ °È Á¶Ä¡¸¦ °ø½Ä ¹ßÈ¿ÇÑ Áö 49ÀÏ ¸¸¿¡ óÀ½ ±¹³»·Î ¹ÝÀÔµÈ ¼ÀÀÌ´Ù.
À̹ø¿¡ µé¾î¿Â ¹°·®ÀÌ ¾à 3°³¿ùÄ¡·Î ¾Ë·ÁÁø 1Â÷ Çã°¡ºÐÀÇ ÀüºÎÀÎÁö ÀϺÎÀÎÁö´Â È®ÀεÇÁö ¾Ê¾ÒÀ¸³ª »ï¼ºÀüÀÚ È¼º ¹ÝµµÃ¼ °øÀåÀÇ ±ØÀڿܼ±(EUV) »ý»ê¶óÀÎÀ¸·Î ¿Å°ÜÁú °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù.
ƯÈ÷ ÀϺ» Á¤ºÎ°¡ ÃÖ±Ù Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼öÃâÀ» µÎ¹ø°·Î Çã°¡ÇÑ °ÍÀ¸·Î È®ÀÎµÇ¸é¼ »ï¼ºÀüÀÚ´Â ÃÖ´ë 9°³¿ùÄ¡¸¦ È®º¸, ´çºÐ°£ EUV ¶óÀÎ °¡µ¿¿¡´Â ¹®Á¦°¡ ¾øÀ» °ÍÀ̶ó´Â °üÃøÀÌ ³ª¿Ô´Ù.
¾÷°è¿¡¼´Â 1Â÷ ¼öÃâ Çã°¡´Â ½Å¿¡Ã÷(ãáêÆ)ÈÇÐÀÌ, 2Â÷ Çã°¡´Â JSRÀÌ °¢°¢ ¹Þ¾Ò´Ù´Â ÃßÃøÀ» ³»³õ°í ÀÖÀ¸³ª »ï¼ºÀüÀÚ´Â "°í°´»ç °ü·Ã »ç¾ÈÀº È®ÀÎÇÒ ¼ö ¾ø´Ù"°í ¹àÇû´Ù.
¾Õ¼ ¹Ì±¹ ºí·ë¹ö±×Åë½ÅÀº 21ÀÏ Á¤ÅëÇÑ ¼Ò½ÄÅëÀ» Àοë, JSRÀÌ ÀϺ» ´ç±¹À¸·ÎºÎÅÍ »ï¼ºÀüÀÚ¿¡ ´ëÇØ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼öÃâÀ» Çã°¡¹Þ¾ÒÀ¸¸ç, 5∼6°³¿ùÄ¡ ¹°·®À̶ó°í º¸µµÇß´Ù.
±×·¯³ª ¾ÆÁ÷ °í¼øµµ ºÒȼö¼Ò(HF)¿Í Ç÷ç¿À¸° Æú¸®À̵̹å(FPI)´Â ´Ü ÇѰǵµ ¼öÃâ Çã°¡¸¦ ¹ÞÁö ¸øÇÑ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.
¾÷°è °ü°èÀÚ´Â "Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â ±º»ç Àü¿ë °¡´É¼ºÀÌ °ÅÀÇ ¾ø±â ¶§¹®¿¡ ÀϺ» Á¤ºÎ·Î¼µµ ¼öÃâ ±ÔÁ¦ÀÇ ¸íºÐÀÌ ¶³¾îÁø´Ù°í ÆÇ´ÜÇÑ µíÇÏ´Ù"¸é¼ "±×·¯³ª ¾ÆÁ÷ ºÒÈ®½Ç¼ºÀÌ ÇØ¼ÒµÆ´Ù°í º¼ ¼ö´Â ¾ø´Ù"°í ÁöÀûÇß´Ù.
ÇÑÆí, ÀϺ»ÀÇ ¼ÒÀç ¾÷üµéÀº ¾Æº£ ½ÅÁ¶(äÌÛÃòÌß²) Á¤ºÎÀÇ ¼öÃâ ±ÔÁ¦·Î ÀÎÇØ ÁÖ¿ä ¼öÃâ ´ë»ó±¹ÀÎ Çѱ¹¿¡ ´ëÇÑ ¼öÃâ±æÀÌ ¸·È÷ÀÚ °æ¿µ³ ¿ì·Á¸¦ È£¼ÒÇÏ¸ç »ï¼ºÀüÀÚ¸¦ ºñ·ÔÇÑ ±¹³» ¾÷üµéÀ» ´ë»óÀ¸·Î 'ÇùÁ¶'¸¦ ¿äûÇÏ°í ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù.
¶Ç´Ù¸¥ ¾÷°è °ü°èÀÚ´Â "Çѱ¹ ¹ÝµµÃ¼·µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¾÷üµéÀº ÀϺ» ¼ÒÀç ±â¾÷µé·Î¼´Â ³õÄ¥ ¼ö ¾ø´Â °í°´"À̶ó¸é¼ "¿ìȸ ¼öÃâ µî ¿©·¯ ´ë¾ÈÀ» °ËÅäÇÏ°í ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ¾È´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
»ê¾÷ÆÀ press@jeonpa.co.kr
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ÀüÆĽŹ®, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>