HOME ´º½º °æÁ¦¤ý»ê¾÷
ÀϺ»»ê Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¾îÁ¦ Ç×°øÆí ¹ÝÀÔ"2Â÷ Çã°¡ºÐ Æ÷ÇÔ ÃÖ´ë 9°³¿ùÄ¡ È®º¸"¡¦»ï¼ºÀüÀÚ EUV »ý»ê¶óÀÎ '¾Èµµ'
  • »ê¾÷ÆÀ
  • ½ÂÀÎ 2019.08.22 09:39 ¤Ó ¼öÁ¤ 2019.08.22 09:39  
  • ´ñ±Û 0

ÀϺ» Á¤ºÎ°¡ Áö³­´Þ Çѱ¹¿¡ ´ëÇÑ 3°³ ÇٽɼÒÀç ¼öÃâ±ÔÁ¦¸¦ ¹ßÇ¥ÇÑ ÀÌÈÄ Ã³À½À¸·Î ÀϺ»»ê Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®°¡ 21ÀÏ ±¹³»·Î ¹ÝÀÔµÈ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.

22ÀÏ º¹¼öÀÇ ¾÷°è °ü°èÀÚ´Â "¾îÁ¦ ÀϺ»»ê Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®°¡ Ç×°øÆíÀ» ÅëÇØ ¹ÝÀÔµÈ °ÍÀ¸·Î ¾È´Ù"¸é¼­ "ÀÌ´Â »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ÁÖ¹®À» ¹ÞÀº ÇÑ ÀϺ» ¾÷üÀÇ ¼öÃâ ½Åû¿¡ ´ëÇØ ÀϺ» Á¤ºÎ°¡ ÀÌ´ÞÃÊ Ã³À½À¸·Î Çã°¡ °áÁ¤À» ³»¸° ¹°·®"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.

ÀϺ» Á¤ºÎ°¡ Áö³­´Þ 4ÀÏ ¼öÃâ±ÔÁ¦ °­È­ Á¶Ä¡¸¦ °ø½Ä ¹ßÈ¿ÇÑ Áö 49ÀÏ ¸¸¿¡ óÀ½ ±¹³»·Î ¹ÝÀÔµÈ ¼ÀÀÌ´Ù.

À̹ø¿¡ µé¾î¿Â ¹°·®ÀÌ ¾à 3°³¿ùÄ¡·Î ¾Ë·ÁÁø 1Â÷ Çã°¡ºÐÀÇ ÀüºÎÀÎÁö ÀϺÎÀÎÁö´Â È®ÀεÇÁö ¾Ê¾ÒÀ¸³ª »ï¼ºÀüÀÚ È­¼º ¹ÝµµÃ¼ °øÀåÀÇ ±ØÀڿܼ±(EUV) »ý»ê¶óÀÎÀ¸·Î ¿Å°ÜÁú °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù.

ƯÈ÷ ÀϺ» Á¤ºÎ°¡ ÃÖ±Ù Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼öÃâÀ» µÎ¹ø°·Î Çã°¡ÇÑ °ÍÀ¸·Î È®ÀεǸ鼭 »ï¼ºÀüÀÚ´Â ÃÖ´ë 9°³¿ùÄ¡¸¦ È®º¸, ´çºÐ°£ EUV ¶óÀÎ °¡µ¿¿¡´Â ¹®Á¦°¡ ¾øÀ» °ÍÀ̶ó´Â °üÃøÀÌ ³ª¿Ô´Ù.

¾÷°è¿¡¼­´Â 1Â÷ ¼öÃâ Çã°¡´Â ½Å¿¡Ã÷(ãáêÆ)È­ÇÐÀÌ, 2Â÷ Çã°¡´Â JSRÀÌ °¢°¢ ¹Þ¾Ò´Ù´Â ÃßÃøÀ» ³»³õ°í ÀÖÀ¸³ª »ï¼ºÀüÀÚ´Â "°í°´»ç °ü·Ã »ç¾ÈÀº È®ÀÎÇÒ ¼ö ¾ø´Ù"°í ¹àÇû´Ù.

¾Õ¼­ ¹Ì±¹ ºí·ë¹ö±×Åë½ÅÀº 21ÀÏ Á¤ÅëÇÑ ¼Ò½ÄÅëÀ» Àοë, JSRÀÌ ÀϺ» ´ç±¹À¸·ÎºÎÅÍ »ï¼ºÀüÀÚ¿¡ ´ëÇØ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼öÃâÀ» Çã°¡¹Þ¾ÒÀ¸¸ç, 5∼6°³¿ùÄ¡ ¹°·®À̶ó°í º¸µµÇß´Ù.

±×·¯³ª ¾ÆÁ÷ °í¼øµµ ºÒÈ­¼ö¼Ò(HF)¿Í Ç÷ç¿À¸° Æú¸®À̵̹å(FPI)´Â ´Ü ÇѰǵµ ¼öÃâ Çã°¡¸¦ ¹ÞÁö ¸øÇÑ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.

¾÷°è °ü°èÀÚ´Â "Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â ±º»ç Àü¿ë °¡´É¼ºÀÌ °ÅÀÇ ¾ø±â ¶§¹®¿¡ ÀϺ» Á¤ºÎ·Î¼­µµ ¼öÃâ ±ÔÁ¦ÀÇ ¸íºÐÀÌ ¶³¾îÁø´Ù°í ÆÇ´ÜÇÑ µíÇÏ´Ù"¸é¼­ "±×·¯³ª ¾ÆÁ÷ ºÒÈ®½Ç¼ºÀÌ ÇØ¼ÒµÆ´Ù°í º¼ ¼ö´Â ¾ø´Ù"°í ÁöÀûÇß´Ù.

ÇÑÆí, ÀϺ»ÀÇ ¼ÒÀç ¾÷üµéÀº ¾Æº£ ½ÅÁ¶(äÌÛÃòÌß²) Á¤ºÎÀÇ ¼öÃâ ±ÔÁ¦·Î ÀÎÇØ ÁÖ¿ä ¼öÃâ ´ë»ó±¹ÀÎ Çѱ¹¿¡ ´ëÇÑ ¼öÃâ±æÀÌ ¸·È÷ÀÚ °æ¿µ³­ ¿ì·Á¸¦ È£¼ÒÇÏ¸ç »ï¼ºÀüÀÚ¸¦ ºñ·ÔÇÑ ±¹³» ¾÷üµéÀ» ´ë»óÀ¸·Î 'ÇùÁ¶'¸¦ ¿äûÇÏ°í ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ÀüÇØÁ³´Ù.

¶Ç´Ù¸¥ ¾÷°è °ü°èÀÚ´Â "Çѱ¹ ¹ÝµµÃ¼·µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¾÷üµéÀº ÀϺ» ¼ÒÀç ±â¾÷µé·Î¼­´Â ³õÄ¥ ¼ö ¾ø´Â °í°´"À̶ó¸é¼­ "¿ìȸ ¼öÃâ µî ¿©·¯ ´ë¾ÈÀ» °ËÅäÇÏ°í ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ¾È´Ù"°í ¸»Çß´Ù.

»ê¾÷ÆÀ  press@jeonpa.co.kr

<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ÀüÆĽŹ®, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>

»ê¾÷ÆÀÀÇ ´Ù¸¥±â»ç º¸±â
iconÀαâ±â»ç
±â»ç ´ñ±Û 0°³
Àüüº¸±â
ù¹ø° ´ñ±ÛÀ» ³²°ÜÁÖ¼¼¿ä.
Back to Top