HOME ´º½º °æÁ¦¤ý»ê¾÷
»ï¼ºÀüÀÚ, 10³ª³ë 3¼¼´ë °øÁ¤ °ø°³¸éÀû ÁÙ°í ¼º´ÉÀº µ¿ÀÏ¡¦7³ª³ë EUV °³¹ßÇöȲµµ °ø°³
  • »ê¾÷ÆÀ
  • ½ÂÀÎ 2016.11.03 06:21 ¤Ó ¼öÁ¤ 2016.11.03 07:43  
  • ´ñ±Û 0

»ï¼ºÀüÀÚ°¡ ÃÖ÷´Ü ÆÄ¿îµå¸®(¹ÝµµÃ¼ À§Å¹»ý»ê) ±â¼úÀÎ 10³ª³ë¹ÌÅÍ(nm·10¾ïºÐÀÇ 1m) 3¼¼´ë °øÁ¤À» °ø°³Çß´Ù.

3ÀÏ ÀüÀÚ¾÷°è¿¡ µû¸£¸é »ï¼ºÀüÀÚ´Â À̳¯ ¹Ì±¹ Ķ¸®Æ÷´Ï¾ÆÁÖ »êŸŬ¶ó¶ó¿¡¼­ °í°´»ç¿Í ÆÄÆ®³Ê»ç¸¦ ´ë»óÀ¸·Î '»ï¼º ÆÄ¿îµå¸® Æ÷·³'À» ¿­°í ÆÄ¿îµå¸® °øÁ¤ È®´ë °èȹÀ» ¹àÇû´Ù.

»õ·Ó°Ô È®´ëµÇ´Â °øÁ¤Àº 14³ª³ë¿Í 10³ª³ë LPU(Low Power Ultimate)ÀÌ´Ù. ¸ð¹ÙÀÏ, ÄÁ½´¸Ó, µ¥ÀÌÅͼ¾ÅÍ, ¿ÀÅä¸ðƼºê µî ´Ù¾çÇÑ ¿µ¿ªÀÇ Â÷¼¼´ë Á¦Ç°¿¡¼­ ¿ä±¸µÇ´Â °í¼º´É·ÀúÀü·Â Ư¼ºÀ» ±Ø´ëÈ­Çß´Ù.

¾Õ¼­ »ï¼ºÀüÀÚ´Â Áö³­´Þ Áß¼ø ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è ÃÖÃÊ·Î 10³ª³ë ·ÎÁ÷ÀÇ °øÁ¤ ¾ç»êÀ» ½ÃÀÛÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù.

¾÷°è¿¡¼­ °¡Àå ¸ÕÀú 10³ª³ë 1¼¼´ë °øÁ¤ ¾ç»ê¿¡ µ¹ÀÔÇÑ µ¥ À̾î À̳¯ 10³ª³ë 3¼¼´ë °øÁ¤ ±â¼ú±îÁö °ø°³ÇÑ °ÍÀ¸·Î, 10³ª³ë °øÁ¤ÀÇ Àå±âÀûÀÎ È°¿ë °èȹÀ» ±¸Ã¼È­ÇÑ °ÍÀÌ´Ù.

14³ª³ë 4¼¼´ë °øÁ¤ÀÎ 14LPU´Â 3¼¼´ë LPC(Low Power Compact) °øÁ¤°ú °°Àº Àü·ÂÀ¸·Î ´õ ÁÁÀº ¼º´ÉÀ» º¸¿©ÁØ´Ù. ¶Ù¾î³­ ¼º´É°ú º¹ÀâÇÑ ¿¬»ê ¼öÇàÀÌ ÇÊ¿äÇÑ Á¦Ç°¿¡ ÀûÀýÇÏ´Ù.

3¼¼´ë 10³ª³ë °øÁ¤ÀÎ 10LPU´Â ÀÌÀü ¼¼´ë °øÁ¤ÀÎ LPE(Low Power Early)¿Í LPP(Low Power Performance)¿Í °°Àº ¼º´ÉÀ» À¯ÁöÇϸ鼭µµ ¸éÀûÀ» ÁÙ¿´´Ù.

10³ª³ë °øÁ¤ ¾ç»êÀ» À§Çؼ­´Â 14³ª³ë °øÁ¤º¸´Ù ÈξÀ Á¤±³ÇÏ°í ¹Ì¼¼ÇÑ È¸·Î¸¦ ±×·Á ³Ö´Â ÆÐÅÍ´× ÀÛ¾÷ÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù.

¾÷°è¿¡¼­´Â ¹Ì¼¼°øÁ¤ ÆÐÅÍ´× ±â¼úÀÇ ÇÑ°è·Î EUV(Extreme Ultraviolet·±ØÀڿܼ±) ±â¼úÀÌ µµÀԵǴ 7³ª³ë °øÁ¤ ¾ç»êÀÌ ÀÌ·ïÁö±â Àü±îÁö´Â 10LPU°¡ ºñ¿ë ´ëºñ È¿À²ÀÌ °¡Àå ¶Ù¾î³­ °øÁ¤ÀÌ µÉ °ÍÀ¸·Î º¸°í ÀÖ´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ´Â ÀÌ¿Í ÇÔ²² 7³ª³ë EUV ¿þÀÌÆÛ¿Í EUV °øÁ¤ °³¹ß ÇöȲµµ ¹àÇû´Ù.

ÆÄ¿îµå¸® ÃÖ´ë °æÀï¾÷üÀÎ ´ë¸¸ÀÇ TSMC µîÀÌ 7³ª³ë °øÁ¤À» º»°ÝÈ­ÇÏ°Ú´Ù°í ¹àÈù °¡¿îµ¥ »ï¼ºÀüÀÚ°¡ 7³ª³ë ±â¼úÀ» Àü°Ý °ø°³ÇÑ °ÍÀÌ´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ´Â ´Ù¸¸ Ãʱ⠺ñ¿ë µîÀ» °í·ÁÇØ ´çÀå 7³ª³ë¿¡ ÁøÀÔÇϱ⺸´Ù 10³ª³ë ±â¼úÀ» Àå±âÀûÀ¸·Î °¡Á®°¡´Â Àü·«À» ÅÃÇÒ °ÍÀ¸·Î °üÃøµÈ´Ù.

»ê¾÷ÆÀ  press@jeonpa.co.kr

<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ÀüÆĽŹ®, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>

»ê¾÷ÆÀÀÇ ´Ù¸¥±â»ç º¸±â
iconÀαâ±â»ç
±â»ç ´ñ±Û 0°³
Àüüº¸±â
ù¹ø° ´ñ±ÛÀ» ³²°ÜÁÖ¼¼¿ä.
¿©¹é
¿©¹é
¿©¹é
Back to Top