±¹³» ¿¬±¸ÁøÀÌ ÇǺο¡ ºÎÂøÇØ ÀÇ·á¿ëÀ¸·Î »ç¿ëÇϰųª Àΰø ÇǺηεµ È°¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â À¯¿¬ÇÑ Ãʹڸ· Åõ¸í ÃË°¢¼¾¼¸¦ °³¹ßÇß´Ù.
Çѱ¹Ç¥ÁØ°úÇבּ¸¿ø(KRISS) Áú·®Èû¼¾ÅÍ ±è¹Î¼® ¹Ú»ç¿Í ¿¬¼¼´ë Àü±âÀüÀÚ°øÇкΠ¾ÈÁ¾Çö ±³¼öÆÀÀº 8ÀÏ Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç·Î ÁÖ¸ñ¹Þ´Â ÀÌȲȸô¸®ºêµ§(MoS©ü)À» ÀÌ¿ëÇØ 75³ª³ë¹ÌÅÍ(§¬=10¾ïºÐÀÇ 1£í) µÎ²²ÀÇ Ãʹڸ· À¯¿¬ ÃË°¢¼¾¼¸¦ °³¹ßÇß´Ù°í ¹àÇû´Ù.
ÃË°¢¼¾¼´Â ·Îº¿ÀÇ ÀüÀÚÇǺο¡¼ °Ç°°ü¸® ½Ã½ºÅÛ±îÁö ´Ù¾çÇÏ°Ô È°¿ëµÉ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÇ¸é¼ ³Î¸® ¿¬±¸µÇ°í ÀÖ´Ù. ƯÈ÷ Çаè´Â À¯¿¬ÇÏ°í °¨µµ°¡ ¿ì¼öÇÑ °í±â´ÉÀÇ ´ë¸éÀû ÃË°¢¼¾¼ °³¹ß¿¡ ÈûÀ» ½ñ°í ÀÖ´Ù.
¡ã ¾öÁö¿¡ ÀÌȲȸô¸®ºêµ§ Ãʹڸ· À¯¿¬ ÃË°¢¼¾¼¸¦ ºÎÂøÇÑ ¸ð½À°ú ÀÌ ºÎºÐÀÇ ÁÖ»çÀüÀÚÇö¹Ì°æ(SEM) »çÁø. (b)¿¡¼ ÃË°¢¼¾¼ ºÎÂø ÈÄ¿¡µµ Áö¹® ±¼°îÀÌ ±×´ë·Î ±×·¯³ª´Â °ÍÀ» º¼ ¼ö ÀÖ´Ù. |
ÇÏÁö¸¸ Áö±Ý±îÁö Á¦½ÃµÈ Æú¸®¸Ó ±â¹Ý °í°¨µµ À¯¿¬ ÃË°¢¼¾¼µéÀº »ç¿ëºóµµ°¡ ´Ã¾î³ª¸é ¹°¼ºÀÌ º¯Çϰųª Ãâ·Â°ª¿¡ ºñ¼±Çü¼ºÀÌ ³ªÅ¸³ª°í ¹Ýº¹¼ºÀÌ ¶³¾îÁö´Â µî ¾àÁ¡ÀÌ ÀÖ¾ú´Ù.
¹Ý¸é ¹ÝµµÃ¼ ¹°ÁúÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î ÇÑ ¾ÐÀúÇ×Çü(piezoresistive) ¼¾¼´Â ³ôÀº °¨µµ¿Í ¾ÈÁ¤Àû ÀÛµ¿À¸·Î ÁÖ¸ñ¹Þ°í ÀÖÀ¸¸ç, ¼¾¼ ¼ÒÀç·Î´Â ±×·¡ÇÉó·³ ¼ö ³ª³ë¹ÌÅÍ µÎ²²ÀÇ Ãʹڸ· Á¦Á¶°¡ °¡´ÉÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ¹°ÁúÀÎ ÀÌȲȸô¸®ºêµ§ÀÌ ÁÖ¸ñ¹Þ°í ÀÖ´Ù.
¿¬±¸ÆÀÀº ½Ç¸®ÄÜ(Si) ±âÆÇ¿¡ Çü¼ºµÈ »êȽǸ®ÄÜ(SiO©ü) Ãþ À§¿¡ ÈÇбâ»óÁõÂø¹ý(CVD)À¸·Î ÀÌȲȸô¸®ºêµ§ ¸·À» ´ë¸éÀûÀ¸·Î ÇÕ¼ºÇÑ ÈÄ Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ ¹æ½ÄÀ¸·Î ÀÌȲȸô¸®ºêµ§ ÆÐÅÏÀ» Àμâ, ¾Ð·Â¿¡ ¹ÝÀÀÇÏ´Â °í°¨µµ ½ºÆ®·¹ÀÎ °ÔÀÌÁö(strain gauge) ¼ÒÀÚ¸¦ ¸¸µé°í, ½ºÆ®·¹ÀÎ °ÔÀÌÁöÀÇ Àü±â ¹è¼± ¹°Áú·Î ±×·¡ÇÉÀ» »ç¿ëÇØ ÃË°¢¼¾¼¸¦ Á¦ÀÛÇß´Ù.
ÀÌ·¸°Ô Á¦ÀÛµÈ À¯¿¬ ÃË°¢¼¾¼´Â µÎ²²°¡ 75³ª³ë¹ÌÅÍ ¼öÁØÀ¸·Î ¼Õ°¡¶ô¿¡ ºÙÀÏ ¶§ Áö¹® ±¼°îÀ» µû¶ó ¹ÐÂøµÉ Á¤µµ·Î ¾ã°í, ¹Î°¨µµµµ ½º¸¶Æ®ÆùÀ» º¸Åë ÅÍÄ¡ÇÒ ¶§ ¾Ð·Â(¾à 10§æ)ÀÇ 10ºÐÀÇ 1 Á¤µµ(1.24§æ)±îÁö °¨ÁöÇÒ Á¤µµ·Î ¿ì¼öÇÑ °ÍÀ¸·Î ³ªÅ¸³µ´Ù.
¶Ç ÀÌ ¼¾¼´Â ºûÅõ°úÀ²ÀÌ 80% ÀÌ»óÀÌ¸ç ±â°èÀûÀ¸·Î 1.98% Àâ¾Æ ´Ã¿©µµ ÃøÁ¤ ¼º´ÉÀÌ ±×´ë·Î À¯ÁöµÇ´Â °ÍÀ¸·Î È®ÀεƴÙ.
¿¬±¸ÁøÀº ÀÌȲȸô¸®ºêµ§Àº ¹ÝµµÃ¼ Ư¼ºÀ» °¡Á® °¨µµ°¡ ¸Å¿ì ³ô°í ±×·¡ÇÉ Àü±Ø°úµµ Á¢ÃË Æ¯¼ºÀÌ ÁÁÀ¸¸ç Åõ¸íÇÑ °Ô Ư¡À̶ó¸é¼ ³ª³ë¹ÌÅÍ ¼öÁØÀÇ µÎ²²·Î ¸Å¿ì À¯¿¬ÇÑ ´ë¸éÀû ¼¾¼ Á¦ÀÛÀÌ °¡´ÉÇØ ¼Õ°¡¶ôÀ̳ª °¡Á× µî Ç¥¸é¿¡ ¼¾¼¸¦ ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù°í ¼³¸íÇß´Ù.
±è¹Î¼® ¹Ú»ç´Â "ÀÌ À¯¿¬ ÃË°¢¼¾¼´Â ÀÎü µî¿¡ À̽ĵǰųª ÇǺΠÀ§¿¡ ºÎÂøµÅ ÀÇ·á¿ëÀ¸·Î »ç¿ëµÉ ¼ö ÀÖ°í ÀΰøÇǺηΠȰ¿ëµµµµ ³ô´Ù"¸ç "¾Ð·ÂÀ» ±¸ºÐÇϱ⠶§¹®¿¡ µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿Í °áÇÕÇÑ ÃË°¢ ÀÎÅÍÆäÀ̽º·Î È°¿ëÇÒ ¼öµµ ÀÖÀ» °Í"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
ÀÌ ¿¬±¸ °á°ú´Â ±¹Á¦ÇмúÁö '¾îµå¹ê½ºµå ¸ÓƼ¸®¾ó½º'(Advanced Materials, 4¿ù 2ÀÏÀÚ) ¿Â¶óÀÎÆÇ¿¡ °ÔÀçµÆ´Ù.
À±½ÂÈÆ ±âÀÚ yoon3@a-news.co.kr
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ÀüÆĽŹ®, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>