대덕연구개발특구 내 나노종합기술원은 12인치 반도체 테스트베드 구축을 완료하고 오늘부터 국내 산·학·연 이용자에게 공식서비스를 시작한다고 밝혔다.

17일 과학기술정보통신부는 2019년 7월 일본의 수출규제 후 나노종기원을 반도체 소재·부품·장비 12인치 테스트베드 운영 기관으로 지정했다. 나노종기원은 국비 450억원을 투입해 청정실과 핵심장비 10대를 구축하고 장비 안정화 작업 등 서비스를 준비해 왔다고 설명했다.

▲ 나도종합기술원 연구원들이 청정실에서 자체 제작한 40나노미터 패턴 웨이퍼를 선보이고 있다.

반도체 생산용 소재·부품은 일본 수출규제 후 소부장 기술자립화에 대한 경각심을 불러일으킨 대표품목이다. 나노종기원의 기존 8인치 장비로는 삼성전자, SK하이닉스 등 반도체 기업이 요구하는 12인치 웨이퍼의 소재 균일도, 결함 등 완성도 평가가 불가능했다.

나노종기원은 앞으로 국내 반도체 소부장 기업들은 12인치 테스트베드를 활용해 반도체 핵심소재 성능 테스트를 신속하게 지원받을 수 있다며 반도체분야 소부장 기술 자립화에 소요되는 시간과 비용을 획기적으로 절감할 수 있다고 밝혔다.

▲ 12인치 반도체 테스트베드 청정실에 구축된 장비들.

이조원 나노종기원장은 "현재 12인치 테스트베드는 40nm(나노미터=10억분의 1ｍ) 패턴웨이퍼 제작이 가능한 인프라로, 감광제 등 반도체 핵심소재와 장비개발을 집중적으로 지원할 예정"이라며 "향후 20nm급 패턴웨이퍼 제작과 부품 테스트를 지원할 수 있는 추가 장비구축 및 공정기술 개발도 추진할 계획"이라고 말했다.

윤승훈 기자  press@jeonpa.co.kr

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